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              高速3D激光共聚焦顯微鏡

              簡要描述:NS3500高速3D激光共聚焦顯微鏡是韓國Nanoscope System 公司專門為低維材料研究所研發的一款高速3D顯微鏡。與傳統的3D探針輪廓儀相比較,NS3500使用405nm的激光作為光源,進行無損傷檢測,不與樣品的表面直接接觸,因此不會損傷樣品的表面,測量精度遠遠高于探針輪廓儀。

              • 產品型號:NS3500
              • 廠商性質:生產廠家
              • 更新時間:2021-09-15
              • 訪  問  量:1355

              詳細介紹

              NS3500三維激光共聚焦顯微鏡

              NS-3500是一種可靠的三維(3D)測量高速共焦激光掃描顯微鏡(CLSM)。通過快速光學掃描模塊和信號處理算法實現實時共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結構,如半導體晶片,FPD產品,MEMS設備,玻璃基板,材料表面等方面擁有*的解決方案。

               

              Features & Benefits(性能及優勢):

              • 高分辨無損傷光學3D測量                               自動傾斜補償

              • 實時共焦成像                                                 簡單的數據分析模式

              • 多種光學變焦                                                 雙Z掃描

                大范圍拼接                                                    半透明基材的特征檢測

              • 實時CCD明場和共聚焦成像                            無樣品準備

              • 自動聚焦

              Software (軟件):

              Application field(應用領域):

              NS-3500是測量低維材料的有前途的解決方案。

              可測量微米和亞微米結構的高度,寬度,角度,面積和體積,例如

              -半導體:IC圖形,凹凸高度,線圈高度,缺陷檢測,CMP工藝

              - FPD產品:觸摸屏屏幕檢測,ITO圖案,LCD柱間距高度

              - MEMS器件:結構三維輪廓,表面粗糙度,MEMS圖形

              -玻璃表面:薄膜太陽能電池,太陽能電池紋理,激光圖案

              -材料研究:模具表面檢測,粗糙度,裂紋分析

              Specification (規格):

              Model

              Microscope  NS-3500

              備注

               

              Controller    NS-3500E

              物鏡倍率

              10x

              20x

              50x

              100x

              150x

               

              觀察/  測量范圍  

              水平 (H): μm

              1400

              700

              280

              140

              93

               

              垂直 (V): μm

              1050

              525

              210

              105

              70

               

              工作范圍: mm

              16.5

              3.1

              0.54

              0.3

              0.2

               

              數值孔徑(N.A.)

              0.30

              0.46

              0.80

              0.95

              0.95

               

              光學變焦

              x1 to x6

               

              總放大倍率

              178x to 26700x

               

              觀察/測量光學系統  

              針孔共聚焦光學系統

               

              高度測量

              測量掃描范圍

              精細掃描 : 400 μm (and/or) 長掃描 : 10 mm [NS-3500-S]

              注 1

              長掃描 : 10mm [NS-3500-T]

              顯示分辨率

              0.001 μm

               

              重復率 σ

              0.010 μm

              注 2

              寬度測量

              顯示分辨率

              0.001 μm

               

              重復率 3σ

              0.02 μm

              注 3

              幀記憶

              像素

              1024x1024, 1024x768, 1024x384,   1024x192, 1024x96

               

              單色圖像

              12 bit

               

              彩色圖像

              8-bit for RGB each

               

              高度測量

              16 bit

               

              幀速率

              表面掃描

              20 Hz to 160 Hz

               

              線掃描

              ~8 kHz

               

              自動功能

              自動增益

               

              激光共焦測量光源

              波長

              405nm

               

              輸出

              ~2mW

               

              激光等級

              Class 3b

               

              激光接收元件

              PMT (光電倍增管)

               

              光學觀察光源

              10W LED

               

              光學觀察照相機

              成像元件

              1/2” 彩色圖像 CCD 傳感器

               

              記錄分辨率

              640x480

               

              自動調整

              增益, 快門速度, White balance

               

              數據處理單元

              PC

               

              電源

              電壓

              100 to 240 VAC, 50/60 Hz

               

              電流

              500 VA max.

               

              重量

              顯微鏡

              Approx. ~50 kg

              (Measuring head unit : ~12 kg)

               

              控制器

              ~8 kg

               

              隔振系統

              電子隔振器

              Option

               

              精細和長距離掃描儀的雙重掃描模式僅適用于NS-3500-S(單鏡頭類型)。                

              注1:精細掃描由壓電執行器(PZT)執行。

              注2 :以100×/ 0.95物鏡對標準樣品(步長1μm)進行100次測量。      

              注 3 :以100×/ 0.95物鏡對標準樣品(5μm間距)進行100次測量。

               

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